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一、应用原理:(1)探针卡(probecard)探针卡是自动测试机与待测器件(DUT)之间的接口,在电学测试中通过探针传递进出wafer的电流。(2)探针台(prober)因此测试对于检验芯片的功能性来说是一项非常重要的工作,硅片测试能够分辨一个好的芯片和一个有缺陷的芯片。RDON是VDMOS在导通状态下漏源之间的导通电阻。二、发展背景介绍:(1)半导体检测贯穿半导体设计、晶圆制造、封装三大流程。半导体制造工艺十分复杂,包含成百上千道工序,每一道出错都可能影响芯片功效。为了提...
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射频探针是我们在片测试时不可少的工具,它在射频产品生命周期中几乎每一个阶段都起着重要作用:从技术开发,模型参数提取,设计验证及调试一直到小规模生产测试和最终的生产测试。通过使用射频探针,人们便有可能在晶片层次上测量射频组件的真正特性。这可以将研究和开发时间缩短并且大大降低开发新产品的成本。基本要求和工作原理:1、射频探针的50-Ω平面传输线应当直接与DUT压点相接触而不用接触导线。对于微带线和随后的共面探针设计,探针的接触是用小的金属球来实现的,这个金属球要足够大以保证可靠且...
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ESD测试设备是专门测量电静电放电所产生的能量、电压和电流的仪器,具有以下特点:1、精确性:能够测量静电放电所产生的能量、电压和电流,具有高度的准确性。2、稳定性:检测结果稳定可靠,能够长时间保持稳定性。3、多功能性:可以测量不同类型和功率等级的ESD,如人体模拟、直接放电和线间放电等,具有多种测试功能。4、高质量:采用高品质的材料和先进的制造工艺,具有高度的可靠性和耐用性。5、易于使用:操作简单方便,用户可以通过简单的操作完成测试过程。6、自动化程度高:具有高度的自动化程度...
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一、包含有太赫兹有源负载牵引系统、Maury微波校准件、Maury微波适配器、微波射频测试附件、波导转接头、同轴转接头、高速调谐器Tuner、自动阻抗调谐器、负载牵引、Loadpull、阻抗-MT2000混合信号有源负载牵等。二、直流电源的基本功能是提供稳定纯净的直流电源,设置电压源或电流源,功率分析测量功能,监测输出电压和电流,输出电压、电流、功率变化的高速分析采集记录输出电压波形编辑,负载变化快速恢复功能脉冲电源设置。三、功率计是射频信号功率测量的标准设备。功率计不能区分...
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探针台探针是电测试的接触媒介,为电子五金元器件。探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器、半导体测试系统配合来测试芯、半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查。也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还...
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ESD测试即静电放电测试。ESD测试在芯片和系统设计中是一项很重要的指标,通常暴露在外面的接口更要注意静电防护。静电放电(ESD)是一种自然现象,经验表明,人在合成纤维的地毯上行走时,通过鞋子与地毯的摩擦,只要行走几步,人体上积累的电荷就可以达到10-6库仑以上(这取决于鞋子与地毯之间的电阻),在这样一个"系统"里(人/地毯/大地)的平均电容约为几十至上百pF,可能产生的电压要达到15kV。研究不同的人体产生的静电放电,会有许多不同的电流脉冲,电流波形的上升时间在100ps至...
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晶圆探针台是在半导体开发和制造过程中用于检测晶圆电气特性的设备。电气测试包括通过探针或探针卡将测试信号从测定器或测试仪发送到晶圆上的各个器件,并得到各器件的信号反馈。这个时候,用于晶圆搬送并与事先设定的位置进行接触的设备称为晶圆探针台。它能够满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求,通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率仰视相机(探针相机)及俯视相机(晶圆相机),实现全自动上下晶圆料片、对针和高精度扎针,与测试机配合完成对晶圆上集成电路的品质检测。圆测试是在半导体器件制造过...
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探针台是一种成熟的工具,用于测试硅晶片、裸片和开放式微芯片上的电路和设备。它允许用户将电子、光学或射频探针放置在设备上,然后测试该设备对外部刺激(电子、光学或射频)的响应。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以更复杂,涉及复杂微电路的全功能测试。它的应用行业有许多,常见的包括半导体、光电以及集成电路等行业,半导体企业不仅有效促进了经济发展。主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境,并进行高精度的直...